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潔凈工程

Clean Room

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潔凈工程

 
    潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。

潔凈室的分類


1、按照用途來分可以分為工業潔凈室和生物潔凈室
   工業潔凈室:以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)、宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)、LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
   生物潔凈室:主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:一般生物潔凈室和生物學安全潔凈室。

2、潔凈室按照氣流組織的方式分為三種:單向流潔凈室,非單向流潔凈室和混合流潔凈室
   單向流潔凈室:
空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于無塵室等級需求較高之環境使用,一般其無塵室等級為 Class 5以上。其型式可分為二種:水平單向流和垂直單向流。
   非單向流潔凈室:空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,并由無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將污染空氣逐漸稀釋,來實現潔凈等級的目的。非單向流潔凈室適用于CLASS6、7、8的潔凈室,每小時的換氣次數決定定義中的凈化級別(換氣次數越多,凈化級別越高)。此種類型的潔凈室投資較低、方便維護,廣泛應用于電子、食品、工業領域。
   混合流潔凈室:混合流潔凈室中的空氣為將非單向流式及單向流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈空氣;這種氣流的特點是將垂直單向流面積壓縮到最小,用大面積非單向流代替大面積單向流以減少初期投資和后期運行費用。適用于對局部區域潔凈度要求較高的潔凈室。混合流潔凈室的一般形式為整個潔凈室非單向流潔凈室,但需要空氣潔凈度嚴格的區域上方采用單向流流型的潔凈措施,使該區域得到滿足要求的單向流潔凈區,以防止周圍相對較差的空氣環境影響局部的高潔凈度。

3、潔凈室技術參數

類  別 非單向流潔凈室 單向流潔凈室 混合流潔凈室
水平單向流 垂直單向流 潔凈隧道 潔凈管道 局部無塵
潔凈度(級) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
換氣次數 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
風速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正壓(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0









工程案例


 
 
 

 
 


潔凈室送回風示意圖



百級側回風示意圖


百級孔板回風示意圖



千級、萬級送回風示意圖

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