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工業潔凈室

Clean Room

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工業潔凈室

 
   工業潔凈室以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃威力對工業對象的污染,內部一般保持正壓狀態。
      工業潔凈室中的空氣經初、中、高效三級過濾。潔凈室內的所有材料不產塵、不積塵、耐摩擦。所有進入潔凈室內的人或物品都要進行嚴格控制:人要換鞋、更衣、吹淋;物要清洗、擦拭。以盡量減少外界粒子對潔凈室內部的污染。
      工業潔凈室適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)、宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)、LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
 

潔凈室圖片展示


  

  

潔凈室技術參數


類  別 非單向流潔凈室 單向流潔凈室 混合流潔凈室
水平單向流 垂直單向流 潔凈隧道 潔凈管道 局部無塵
潔凈度(級) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
換氣次數 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
風速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
正壓(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0








美國聯邦標準(USA Federal Standard)209E(1999年)


潔凈度等級
Clean Class
粒徑 Particles Size(um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35.0 7.50 3.00 1.00 NA
10 350 75.0 30.0 10.0 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7.0
10000 NA NA NA 10000 70.3
100000 NA NA NA 100000 700

ISO14644-1標準空氣潔凈度分級


分級數字(N) 最大濃度限值(每立方米空氣粒子)(小于等于所標粒徑的粒子)
0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1um 5um
ISO1 10 2        
ISO2 100 24 10 4    
ISO3 1000 237 102 35 8  
ISO4 10000 2370 1020 352 83  
ISO5 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO7       352000 83200 2930
ISO8       3520000 832000 29300
ISO9       35200000 8320000 293000

潔凈室送、回風示意圖



非單向流潔凈室送、回風示意圖

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